西安气体公司 | 电子气体的详细介绍
2025-11-01 来自: 西安畅达气体有限公司 浏览次数:37
电子气体是半导体、显示面板、光伏等电子制造业的核心基础材料,按用途可分为电子特种气体和电子大宗气体两类。
核心分类与关键特性
电子大宗气体:用量大、纯度要求中等(通常 99.99%-99.9999%),以惰性气体和基础气体为主。
常见类型:氮气、氧气、氩气、氢气、氦气等。
核心作用:作为载气、保护气或反应介质,支撑生产过程的基础环境。
电子特种气体:用量小、纯度要求极高(多为 99.9999% 以上,即 6N 级及更高),化学性质多样。
常见类型:硅烷、氨气、氯化氢、氟化氢等。
核心作用:参与薄膜沉积、蚀刻、掺杂等关键工艺,直接影响产品性能。
核心应用场景
半导体制造:从晶圆制造到封装测试,用于光刻、气相沉积、离子注入等核心步骤。
显示面板:LCD、OLED 面板生产中,用于薄膜制备、像素定义、封装保护。
光伏产业:太阳能电池片制造时,作为掺杂气体或保护气体提升转换效率。
其他领域:LED 芯片、半导体器件、光纤制造等,是电子产业 “工业血液”。
关键技术要求
纯度控制:杂质含量需控制在 ppb(10⁻⁹)甚至 ppt(10⁻¹²)级别,避免污染芯片或器件。
稳定性:成分均匀、批次一致性强,确保生产工艺可重复。
安全性:部分特种气体具有毒性、腐蚀性或易燃易爆性,需特殊储存和输送系统。
